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J-GLOBAL ID：200903020040244561

ウエーハ接着装置およびウエーハ接着方法

Inventor： 堤 幸雄 ,  松本 辰巳 ,  高橋 啓介 ,  小山 光二
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991294681
Publication number (International publication number)：1993152262
Application date： Nov. 11, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、シリコンウェーハをキャリアプレートへ自動的に接着する方法およびその装置に関するものである【構成】 大気圧以下の圧力において、キャリアプレートの下方にウェーハを配置し、ウェーハを上昇させてキャリアプレートに接着するようにした接着部を有する。この接着部にキャリアプレートおよびウェーハを供給するする搬送手段は、キャリアプレートおよびウェーハの接着面を上向きにして搬送し、キャリアプレートの搬送装置と接着部との間でキャリプレートを反転させる。

Claim (excerpt)：

キャリアプレートにウェーハを接着する接着部と、該接着部へキャリアプレートを供給する第1の搬送手段と、前記接着部へウェーハを供給する第2の搬送手段と、ウェーハが接着されたキャリアプレートを前記接着部から搬出する第3の搬送手段とからなるウェーハ接着装置において、前記接着部は、キャリアプレートを支持するキャリアプレート支持手段と、このキャリアプレート支持手段の下側でウェーハを支持するウェーハ支持手段と、該ウェーハ支持手段に支持されたウェーハをキャリアプレートの下面に接触する位置迄上昇させるウェーハ移動手段とから構成され、前記第1の搬送手段と接着部との間には、キャリアプレートを表裏逆の向きに反転させる反転手段が設けられたことを特徴とするウェーハ接着装置。

IPC (2)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 37/04