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J-GLOBAL ID：200903020046356787

透明電極薄膜のエッチング方法

Inventor： 棧敷 一明 ,  松野 明 ,  楡 孝 ,  和田 富美子
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 米原 正章 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993104034
Publication number (International publication number)：1994314592
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 エッチ側壁がきれいになって、照射した周辺が盛り上がったり、溶融した物質が飛散したり、残渣が残ったりすることがなく、下地へのダメージも少なくなるようにした透明電極薄膜のエッチング方法を得る。【構成】 ハロゲン元素を含む雰囲気ガス内で、基板2上に積層した透明電極薄膜1に、この透明電極薄膜1が吸収する波長域で発振するレーザ3を照射してこの部分を透明電極薄膜1を局部的に除去する。

Claim (excerpt)：

ハロゲン元素を含む雰囲気ガス内で、基板2上に積層した透明電極薄膜1に、この透明電極薄膜1が吸収する波長域で発振するレーザ3を照射してこの部分で透明電極薄膜1を局部的に除去することを特徴とする透明電極薄膜のエッチング方法。

IPC (2)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-053731
  
• 特開平3-232746
  
• 平滑ガラス基板およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-272944   Applicant：触媒化成工業株式会社