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J-GLOBAL ID:200903020050569809

多重スペクトルで導かれた照明を用いるビデオ検査システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 川北 武長
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1994514472
Publication number (International publication number):1996506891
Application date: Dec. 13, 1993
Publication date: Jul. 23, 1996
Summary:
【要約】高速ビデオ検査のための改善された照明システムは、ウェッブ材料(38)の遅延時間集積検査(TDI)に用いられる光放射ダイオードを有する光放射ダイオード(10)のアレイ(配列)を含む。このアレイの光放射ダイオード(10)は、連続的な照明を達成するように調節可能であり、また、連続的に移動する標本(単数または複数)の特定のセクション(42)の映像化(イメージング)を注意深く調節することかできる。異なる波長光の出力を有するLEDまたは多重波長光のLEDが用いられ、変化する色、外形、検出特性を有する表面の迅速かつ信頼性ある検査を可能にする。本システムは、またこはく色の標本の検査を行なうために、このような標本の照明を助けるためのオプションのバックライティング素子(26)のアレイを有する。
Claim (excerpt):
複数の選択された波長量の照明を与えるように適合された光放射ダイオードの第1のアレイと、 該第1のアレイの照明領域に配置された協同する標本を照射するように該第1のアレイを確保するように適合された第1の保持手段と、 第1および第2の波長からなる選択光を有する検査光を発生するように該第1のアレイに電流を選択的に与える手段とを有する、改善されたビデオ検査照明システム。
IPC (2):
G01N 21/84 ,  G01N 21/88
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
  • 特開昭59-052735
  • 特開昭60-003542
  • 特開平2-221844
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