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J-GLOBAL ID：200903020050749971
ドライエッチングにおける終点検出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991340569
Publication number (International publication number)：1993175164
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ドライエッチング時の被エッチング物のエッチングの終点の検出を被エッチング物からの反射光を用いて行なう際に従来より確実に終点検出ができる方法を提供すること。【構成】 ドライエッチング時に被エッチング物に波長λ1 の光及び波長λ2 (λ1 =2λ2 )の光を照射する。被エッチング物からの反射光のうちの波長λ1 の反射光及び波長λ2 の反射光の強度P,Qの時間微分の絶対値を加算した信号Sのレベルが零になったときを被エッチング物のエッチング終点とする。
Claim (excerpt)：
ドライエッチングにより被エッチング物をエッチングする際のエッチングの終点検出を、該被エッチング物に光を照射しその反射光を用いて行なう方法において、反射光のうちの互いに波長が異なる少なくとも2つの光の強度の時間微分の絶対値を加算した信号の変化に基づいて、被エッチング物の終点を検出することを特徴とするドライエッチングにおける終点検出方法。
IPC (3)：
H01L 21/302
, G01B 11/30 102
, H01L 21/66
