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J-GLOBAL ID：200903020061966630

薬液処理槽

Inventor： 椎 名 康 憲
Applicant, Patent owner： 日本バルカー工業株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998127981
Publication number (International publication number)：1999330029
Application date： May. 11, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 少なくとも薬液に接する表面が、耐熱性、耐透過性、耐薬品性およびクリーン性に極めて優れた薬液処理槽を提供する。【解決手段】薬液処理槽の少なくとも薬液と接触する表面が、変性ポリテトラフルオロエチレンから構成され、前記変性ポリテトラフルオロエチレンが、式[I]:CF2=CF-O-X・・・・[I]{式[I]中、Xは炭素数1〜6のパーフルオロアルキル基、炭素数4〜9のパーフルオロアルコキシアルキル基、または式[II]:【化1】(式[II]中、nは0または1を示す。)で表される基を示す。}で表されるパーフルオロビニルエーテル成分単位、およびテトラフルオロエチレン成分単位とを含有する共重合体であって、前記式[I]で表されるパーフルオロビニルエーテル成分単位が0.001〜1重量%の量で含有されている変性ポリテトラフルオロエチレンである。

Claim (excerpt)：

半導体ウェハ、液晶基板などの被処理体を各種の薬液洗浄などの処理を行うために、耐熱性、耐透過性、耐薬品性およびクリーン性に優れたフッ素樹脂から構成した薬液処理槽であって、前記薬液処理槽の少なくとも薬液と接触する表面が、変性ポリテトラフルオロエチレンから構成され、前記変性ポリテトラフルオロエチレンが溶融状態から加工できず、式[I]:CF2=CF-O-X・・・・[I]{式[I]中、Xは炭素数1〜6のパーフルオロアルキル基、炭素数4〜9のパーフルオロアルコキシアルキル基、または式[II]:【化1】(式[II]中、nは0または1を示す。)で表される基を示す。}で表されるパーフルオロビニルエーテル成分単位、およびテトラフルオロエチレン成分単位とを含有する共重合体であって、前記式[I]で表されるパーフルオロビニルエーテル成分単位が0.001〜1重量%の量で含有されている変性ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする薬液処理槽。

IPC (4)：

H01L 21/304 642 ,  B08B 3/08 ,  C08F214/26 ,  C08F216:14

FI (3)：

H01L 21/304 642 A ,  B08B 3/08 Z ,  C08F214/26