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J-GLOBAL ID：200903020066595125

試料作製装置および試料作製方法

Inventor： 梅村 馨 ,  富松 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998057718
Publication number (International publication number)：1999258130
Application date： Mar. 10, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内でできる試料作製方法および装置を提供する。【解決手段】少なくとも、集束イオンビームの照射光学系と、上記集束イオンビームの照射によって試料片から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記集束イオンビームの照射領域にデポ膜を形成する原料ガスを供給するデポガス源と、上記試料片を載置し、分析試料を固定する試料ホルダを載置するサイドエントリ型の試料ステージと、上記試料片の一部を分離した摘出試料を上記試料ホルダに移し変える移送手段とで試料作製装置を構成する。

Claim (excerpt)：

集束イオンビームの照射光学系と、上記集束イオンビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記集束イオンビームの照射領域にデポジション膜を形成する原料ガスを供給するデポガス源と、上記試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段と、上記試料片と上記摘出試料とを載置するサイドエントリ型の試料ステージとを少なくとも具備することを特徴とする試料作製装置。

IPC (5)：

G01N 1/32 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G01N 37/00

FI (5)：

G01N 1/32 A ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G01N 37/00 A ,  G01N 1/28 F