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J-GLOBAL ID：200903020071564521

筒状分子構造およびその製造方法、並びに前処理基板およびその製造方法

Inventor： 冨永 昌人 ,  松本 学 ,  宮原 勝也 ,  野村 真也 ,  副島 和樹 ,  谷口 功
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 熊本大学
Agent (2)： 藤島 洋一郎 ,  三反崎 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005259305
Publication number (International publication number)：2006342040
Application date： Sep. 07, 2005
Publication date： Dec. 21, 2006
Summary：

【課題】 高感度のセンサなどを実現できる筒状分子構造およびその製造方法を提供する。【解決手段】 カーボンナノチューブ(CNT)11と基板10との間にはシリサイド層13が存在し、CNT11は、基板10上の金属触媒粒子12を基点として基板10に対して垂直方向に成長している。CNT11に多くの酵素を立体的に捕捉させることにより酵素センサとして利用することができる。この筒状分子構造1は、有機膜形成工程において3-APMS等のシラン基を有する化合物を用いて形成されるもので、シリコン基板以外の基板を用いても作製される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

シラン基を有する化合物を用いて基板の表面に有機膜を形成する有機膜形成工程と、 前記有機膜上に金属触媒粒子を配置する触媒配置工程と、 前記基板に対して熱処理またはオゾン酸化処理を行うことにより、前記金属触媒粒子を前記基板上に固定化すると共に前記基板と前記金属触媒粒子との間にシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、 前記金属触媒粒子を活性化させると共にこの金属触媒粒子を基点として筒状炭素分子を前記基板に対して垂直方向に成長させる成長工程と を含むことを特徴とする筒状分子構造の製造方法。

IPC (4)：

C01B 31/02 ,  B82B 3/00 ,  H01M 14/00 ,  H01L 31/04

FI (4)：

C01B31/02 101F ,  B82B3/00 ,  H01M14/00 P ,  H01L31/04 Z

F-Term (31)：

4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AD21 ,  4G146AD24 ,  4G146AD35 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC08 ,  4G146BC22 ,  4G146BC26 ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G146BC47 ,  5F051AA20 ,  5F051BA11 ,  5F051CB24 ,  5F051CB29 ,  5F051CB30 ,  5F051DA20 ,  5F051GA03 ,  5F051GA04 ,  5F051GA05 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB02 ,  5H032HH02 ,  5H032HH05 ,  5H032HH06 ,  5H032HH08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 二次元的に配置された量子素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-148943   Applicant：松下電器産業株式会社
• カーボンナノチューブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-362265   Applicant：松下電器産業株式会社