Pat

J-GLOBAL ID：200903020094414942

陽極酸化装置および陽極酸化膜形成方法

Inventor： 小林 郁典 ,  田村 達彦 ,  坪井 伸行
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088307
Publication number (International publication number)：1995292492
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 定電圧で陽極酸化する際に、配線と陽極酸化を防止するレジストとの界面で発生する配線の溶断不良を防止する。【構成】 定電圧で陽極酸化する際に必要な電流を常時検出して必要最小限の電流に設定する制御系を有することを特徴とする陽極酸化装置を用いて、陽極酸化膜を形成する。

Claim (excerpt)：

電圧および電流をそれぞれ設定する設定系と、卑金属を陽極酸化する際に流れる電流を検出する検出系と、前記検出系で検出された必要最小限の電流に制御する制御系とを有することを特徴とする陽極酸化装置。

IPC (4)：

C25D 11/04 101 ,  C25D 11/04 303 ,  H01L 21/316 ,  H01L 29/786

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 陽極酸化方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-154397   Applicant：シグマメルテック株式会社
• 陽極酸化方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-168600   Applicant：シグマメルテック株式会社
• 特開平4-198497