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J-GLOBAL ID：200903020109144556

高分子光導波路の製造方法

Inventor： 藤本 学
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996096820
Publication number (International publication number)：1997281351
Application date： Apr. 18, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、転写型を用いた高分子光導波路の製造方法において、転写型からの光導波路の分離を容易とすると共に、緻密で複雑なパターンを持つ矩形性の良好な光導波路であっても欠陥を抑さえて低コストで作製可能な高分子光導波路の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 高屈折率透明樹脂をモノマー状態で転写型6に流し込んで重合固化させ、重合固化した高屈折率透明樹脂13の上に高屈折率透明樹脂13よりも屈折率の低い低屈折率透明樹脂をモノマー状態で塗布して重合固化させた後、重合固化した高屈折率透明樹脂13及び低屈折率透明樹脂9を転写型11から分離させる工程を含む高分子光導波路の製造方法において、転写型6が光導波路コア部13の形状にパターニングされた感光性樹脂膜4から構成され、前記分離操作を化学的処理により行う。

Claim (excerpt)：

高屈折率透明樹脂をモノマー状態で転写型に流し込んで重合固化させ、該重合固化した高屈折率透明樹脂の上に該高屈折率透明樹脂よりも屈折率の低い低屈折率透明樹脂をモノマー状態で塗布して重合固化させた後、重合固化した高屈折率透明樹脂及び低屈折率透明樹脂を転写型から分離させる工程を含む高分子光導波路の製造方法において、前記転写型が光導波路コア部の形状にパターニングされた感光性樹脂膜から構成され、前記分離操作を化学的処理により行うことを特徴とする高分子光導波路の製造方法。

IPC (2)：

G02B 6/13 ,  C08F 2/02 MAS

FI (2)：

G02B 6/12 M ,  C08F 2/02 MAS