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J-GLOBAL ID：200903020119973550

光触媒膜付き基体およびその製造方法

Inventor： 木島 義文 ,  安崎 利明
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大橋 邦彦
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001569433
Publication number (International publication number)：2004500240
Application date： Mar. 15, 2001
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】【解決手段】金属チタンを含有するターゲットを減圧した雰囲気内でスパッタして基体上に酸化チタン膜を被覆し、その後その膜の酸素欠陥状態に応じて酸化性、不活性または還元性雰囲気で加熱処理をして、膜の表面抵抗を109〜1013Ω/□に制御する。酸化チタンに酸化ニオブを少量成分として含有させ、あるいは下地膜として酸化ニオブ膜を設けてもよい。

Claim (excerpt)：

チタンを含有するターゲットを減圧した雰囲気内でスパッタして基体上に被覆された、表面抵抗が109〜1013Ω/□の酸化チタン主成分の光触媒膜付き基体。

IPC (11)：

B01J35/02 ,  B01J21/06 ,  B01J23/20 ,  B01J23/745 ,  B01J23/755 ,  B01J37/02 ,  B32B9/00 ,  B32B15/04 ,  C03C17/245 ,  C03C17/34 ,  C23C14/08

FI (11)：

B01J35/02 J ,  B01J21/06 M ,  B01J23/20 M ,  B01J37/02 301P ,  B32B9/00 A ,  B32B15/04 Z ,  C03C17/245 A ,  C03C17/34 Z ,  C23C14/08 E ,  B01J23/74 301M ,  B01J23/74 321M

F-Term (93)：

4F100AA19B ,  4F100AA19C ,  4F100AA21B ,  4F100AA23B ,  4F100AA23C ,  4F100AA24B ,  4F100AB01A ,  4F100AD00A ,  4F100AG00A ,  4F100AK01A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA13 ,  4F100EJ58 ,  4F100EJ582 ,  4F100EJ602 ,  4F100GB07 ,  4F100GB41 ,  4F100GB66 ,  4F100JC00 ,  4F100JG04B ,  4F100JL08B ,  4F100JM02B ,  4F100YY00B ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AC22 ,  4G059AC30 ,  4G059EA01 ,  4G059EA04 ,  4G059EB04 ,  4G059GA01 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4G069AA02 ,  4G069AA08 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA13A ,  4G069BA14A ,  4G069BA14B ,  4G069BA17 ,  4G069BA22A ,  4G069BA48A ,  4G069BB02C ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BC16A ,  4G069BC16C ,  4G069BC50C ,  4G069BC55A ,  4G069BC55B ,  4G069BC55C ,  4G069BC66A ,  4G069BC66B ,  4G069BC66C ,  4G069BC68A ,  4G069BC68B ,  4G069BC68C ,  4G069CA01 ,  4G069CA10 ,  4G069CA11 ,  4G069CA17 ,  4G069EA07 ,  4G069EA11 ,  4G069EC27 ,  4G069ED02 ,  4G069FA01 ,  4G069FA03 ,  4G069FA04 ,  4G069FB02 ,  4G069FB29 ,  4G069FB30 ,  4G069FB44 ,  4G069FC02 ,  4G069FC07 ,  4G069FC08 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029FA07 ,  4K029GA01