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J-GLOBAL ID：200903020121969846

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 富松 聡 ,  長谷川 剛 ,  細木 茂行 ,  河野 真貴子
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994103800
Publication number (International publication number)：1995311205
Application date： May. 18, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】試料表面の凹凸構造情報と磁気情報とを分離して検出することのできる走査型プローブ顕微鏡を実現する。【構成】カンチレバー1の背面に、磁束変化による誘導起電力を検出可能な電流経路3を設けて磁気情報を検出可能な構造とし、一方、カンチレバー1は、試料5と探針2との間に働く原子間力により制御されており、試料5表面の凹凸像を得る。ここで、試料5表面に磁束分布が存在する場合には、探針2を通過する磁束に変化が生じ、これに応じて上記電流経路3に誘導起電力Viが発生し、この電圧Viを検出することにより、試料5表面の磁束分布を検出することができる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの先端部に探針を有し、該探針の先端を試料表面に近接させて走査することにより、上記試料表面の構造を原子レベルの分解能で検出すると共に、該試料表面の磁気情報を検出する走査型プローブ顕微鏡において、上記カンチレバーと探針との試料に対向する側の表面を上記探針の先端部を除いて超伝導物質で被覆し、かつ、上記カンチレバーの探針が存在する部位の裏側面に上記試料表面からの磁力線を検出する磁束検出手段を設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (5)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12 ,  H01J 37/28