ウェハ加工用粘着シートおよびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995181327
Publication number (International publication number)：1997031425
Application date： Jul. 18, 1995
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】ウェハの裏面研摩時あるいはウェハのダイシング時に、ウェハ並びにチップの破損率を低減できるウェハ加工用粘着シートを提供すること。【解決手段】フィルムと、その片面または両面に形成されたコーティング層または他のフィルムとからなる、表面平滑性に優れた基材の片面に粘着剤層が形成されてなるウェハ加工用粘着シート。

Claim (excerpt)：

フィルムと、その片面または両面に形成されたコーティング層とからなる、表面平滑性に優れた基材の片面に粘着剤層が形成されてなるウェハ加工用粘着シート。

IPC (7)：

C09J 7/02 JLE , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JJA , C09J 7/02 JJC , C09J 7/02 JJP , C09J 7/02 JKP , H01L 21/304 321

FI (7)：

C09J 7/02 JLE , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JJA , C09J 7/02 JJC , C09J 7/02 JJP , C09J 7/02 JKP , H01L 21/304 321 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-192542
特開昭61-260629
ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-330220 Applicant：三井東圧化学株式会社

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