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J-GLOBAL ID：200903020145051874

垂直磁気記録媒体の製造方法、垂直磁気記録媒体、及び垂直磁気記録装置

Inventor： 荻原 英夫 ,  彦坂 和志
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000246654
Publication number (International publication number)：2002063718
Application date： Aug. 16, 2000
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 磁性粒子を球状の形状に保った状態のグラニュラー構造を持つ下地膜を成膜することを可能とする。【解決手段】 基板1の上に非磁性母材中2aに磁性粒子2bが分散したグラニュラー構造を持った下地膜層2を成膜する工程と、前記下地膜層2の上に垂直磁性層3を成膜する工程と、前記垂直磁性層3の上に保護膜層4を成膜する工程とを有し、前記下地膜層2を成膜する工程は、前記基板1に断続的に基板バイアスを印加しながら前記下地膜層2を成膜することで、前記磁性粒子2bが前記下地膜層2の垂直方向に複数の列に並んだ層構造の下地膜層を成膜する。

Claim (excerpt)：

基板の上に非磁性母材中に磁性粒子が分散したグラニュラー構造を持った下地膜層を成膜する工程と、前記下地膜層の上に垂直磁性層を成膜する工程と、前記垂直磁性層の上に保護膜層を成膜する工程とを有し、前記下地膜層を成膜する工程は、前記基板に断続的に基板バイアスを印加しながら前記下地膜層を成膜することで、前記磁性粒子が前記下地膜層の垂直方向に複数の列に並んだ層構造の下地膜層を成膜することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4)：

G11B 5/84 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/738

FI (4)：

G11B 5/84 Z ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/14 F ,  G11B 5/738

F-Term (16)：

4K029BA24 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029CA13 ,  5D006CA01 ,  5D006CA03 ,  5D006CA05 ,  5D112AA03 ,  5D112BD01 ,  5D112BD03 ,  5D112FA04 ,  5D112FB26