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J-GLOBAL ID：200903020148648740

プラズマ温度分布測定方法および装置

Inventor： 塚本 進 ,  浅井 義一
Applicant, Patent owner： 科学技術庁金属材料技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998246314
Publication number (International publication number)：2000074755
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 時間変動の激しいプラズマの温度分布を二次元および三次元的に、非常に短い時間で、且つ正確に測定することのできる、新しいプラズマ温度分布測定方法および装置を提供する。【解決手段】 プラズマの温度分布を測定する方法であって、プラズマから発光する平行成分光のうち、プラズマ構成元素の励起原子またはイオンにより放射される輝線スペクトルのみで構成された輝線スペクトル画像を結像し、この輝線スペクトル画像の強度分布からプラズマの温度分布を算出する。

Claim (excerpt)：

プラズマの温度分布を測定する方法であって、プラズマから発光する平行成分光のうち、プラズマ構成元素の励起原子またはイオンにより放射される輝線スペクトルのみで構成された輝線スペクトル画像を結像し、この輝線スペクトル画像の強度分布からプラズマの温度分布を算出することを特徴とするプラズマ温度分布測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• プラズマ計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-029173   Applicant：三菱重工業株式会社, 庄司多津男