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J-GLOBAL ID：200903020162842605

電気光学計測装置

Inventor： 竹内 恒一郎 ,  岩岡 秀人 ,  杉山 直 ,  笠原 征夫
Applicant, Patent owner： 株式会社テラテック
Agent (1)： 井出 直孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993181687
Publication number (International publication number)：1995035827
Application date： Jul. 22, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高い精度の位置制御が行える電気光学計測装置を提供する。【構成】 プローブに光を照射し、その反射光を測定して位置を検出する。電気光学結晶に照射する光と位置検出用の光とを兼ねることもできる。【効果】 簡単な構成で位置制御が実現できる。

Claim (excerpt)：

少なくとも一部が電気光学結晶により形成され被測定物に近接させるプローブ(1)と、この電気光学結晶に光を照射する第一の光源(51)と、この第一の光源の前記電気光学結晶を通過した反射光からこの電気光学結晶の光学的変位量を検出する変位量検出手段(111)と、この変位量検出手段の検出結果から前記被測定物の電位を測定する手段(12)とを備えた電気光学計測装置において、前記プローブはカンチレバー(10)により支持され、前記プローブに光を照射する第二の光源(52)と、この第二の光源の前記プローブの反射光からこのプローブの位置を検出する位置検出手段(112、2)と、この位置検出手段の検出結果を入力として前記プローブの前記被測定物に対する位置を制御する手段(4、8)とを備えたことを特徴とする電気光学計測装置。

IPC (3)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-018780
  
• 特開平4-162340
  
• 特開平4-350568