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J-GLOBAL ID：200903020173953476

ガスセンサ

Inventor：
リューヘ,ユルゲン

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サミュエル,ジェイ.ディ.イェヤープラカシ

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フレリッシツ,ハインツ-ペーテル

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レーマン,ミルコ

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Applicant, Patent owner：
ミクロナス ゲーエムベーハー

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アルベルト-ルートヴィッヒ-ユニベルジテート フライブルク

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Agent (1)： 須田 正義
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006521493
Publication number (International publication number)：2007500342
Application date： Jul. 24, 2004
Publication date： Jan. 11, 2007
Summary：
ガスセンサ(1)は第1の電荷キャリア形式の基板(2)を具備し、該基板上に第2の電荷キャリア形式のドレイン(3)及びソース(4)が配置されている。ドレイン(3)とソース(4)との間にチャネル領域(8)が形成されている。更にガスセンサ(1)は極(11,12)を有するガス感応層(10)を備えており、これらの極の間では前記感応層(10)と接触するガスの濃度に応じてガス励起電圧が生じる。該電圧を測定するために、感応層(10)はその一方の極(12)によりエアギャップ(14)を介して前記チャネル領域(8)に容量結合されており、またその他方の極(11)により基準電位を有する対電極(13)に接続されている。ガスセンサ(1)の表面には、ガス感応層(10)とチャネル領域(8)及び/又はチャネル領域(8)に設けられたゲート電極と電気的に接続されたセンサ電極との間に疎水層(19)が設けられている。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
第1の電荷キャリア形式の基板(2)を具備し、前記基板上に第2の電荷キャリア形式のドレイン(3)及びソース(4)が配置され、ドレイン(3)とソース(4)との間にチャネル領域(8)が形成されており、更に極(11,12)を有するガス感応層(10)を具備するガスセンサ(1)であって、これらの極の間では前記感応層(10)と接触するガスの濃度に応じてガス励起電圧が発生し、その際に前記ガス感応層(10)は前記電圧を測定するためにその一方の極(12)によりエアギャップ(14)を介して前記チャネル領域(8)に容量結合されており、またその他方の極(11)により基準電位を有する対電極(13)に接続されているガスセンサにおいて、ガス感応層(10)とチャネル領域(8)及び/又は該チャネル領域(8)に設けられたゲート電極(22)と電気的に接続されたセンサ電極(16)との間のガスセンサ(1)表面に疎水層(19)が設けられている、ことを特徴とするガスセンサ(1)。
IPC (1)：
G01N 27/414
FI (1)：
G01N27/30 301V
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • ドイツ特許明細書 DE 第4333875 C2号
  • ドイツ特許明細書 DE 第10118367 C2号
  • 欧州特許明細書 EP 第1191332 A1号
Cited by examiner (1)
  • 特開昭63-061944
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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