マイクロ波駆動式プラズマ噴射装置および噴射する方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤野清也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997500776
Publication number (International publication number)：1999506805
Application date： May. 28, 1996
Publication date： Jun. 15, 1999
Summary：

【要約】マイクロ波駆動式プラズマ噴射装置を均一な高出力噴射のために利用することができる。このプラズマ噴射機は、誘電体放電管なしで構築されるので、非常に高いマイクロ波出力を利用することができる。さらに、このプラズマ噴射機は、熱可融性材料の析出により生じる汚染を比較的受けない。

Claim (excerpt)：

a)(i)イオン化に適した気体を空洞に導入し、空洞内の全ての方向にプラズマを安定させるのに適切な速度および渦を生み出すための少なくとも一つの注入ポート、ならびに(ii)空洞からプラズマを排出するためのノズルを含む、空洞中に形成されたプラズマを直接封じ込める導電性マイクロ波空洞と、 b)空洞中の気体をイオン化するためにマイクロ波出力を空洞に提供するためのマイクロ波出力源、そのマイクロ波出力が空洞内でマイクロ波放電を生み出し、ノズルからプラズマ噴射が流出する、とを含むプラズマ発生装置。

IPC (3)：

C23C 4/00 , H05H 1/42 , H05H 1/46

FI (3)：

C23C 4/00 , H05H 1/42 , H05H 1/46 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開昭63-289799
特開平4-351899
特開平1-184921

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