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J-GLOBAL ID：200903020200099148

走査ミラーの駆動装置

Inventor： 堀 正美 ,  西村 広海 ,  笠野 文宏
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 川瀬 幹夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992231156
Publication number (International publication number)：1994082711
Application date： Aug. 31, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 大型の走査ミラーを容易に駆動できるようにする。【構成】 コイル2aを有する磁気発生部2 と、鏡面部1bにより反射された光が走査されるようコイル2aを通電することによって発生する磁気発生部2 の磁気に応じて角変位して駆動される平板状の走査ミラー1 と、を備え、走査ミラー1 は、両端部を結ぶ駆動軸1eを中心として角変位可能なよう支持部材1dで両端支持されるとともに一方面側が鏡面部1bで他方面側が駆動軸1eの両側を異極に着磁した薄膜状の永久磁石1cで形成され、磁気発生部2 は、走査ミラー1 の駆動軸1eに直交する方向をコイル2aの巻回軸とするとともに走査ミラー1 の他方面側に所定の距離を隔てて配設されている。従って、走査ミラー1 は、単独で、しかも他方面側に薄膜状の永久磁石1cを形成しただけの軽い状態で駆動されるので、走査ミラー1 を大型にしたいような場合であっても、比較的小さな駆動力でも容易に駆動できる。

Claim (excerpt)：

コイルを有する磁気発生部と、鏡面部により反射された光が走査されるようコイルを通電することによって発生する磁気発生部の磁気に応じて角変位して駆動される平板状の走査ミラーと、を備えた走査ミラーの駆動装置において、走査ミラーは、両端部を結ぶ駆動軸を中心として角変位可能なよう両端支持されるとともに一方面側が鏡面部で他方面側が駆動軸の両側を異極に着磁した薄膜状の永久磁石で形成され、磁気発生部は、走査ミラーの駆動軸に直交する方向をコイルの巻回軸とするとともに走査ミラーの他方面側に所定の距離を隔てて配設されてなることを特徴とする走査ミラーの駆動装置。

IPC (4)：

G02B 26/10 101 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 102 ,  G01N 21/88