ウエハー加熱装置および加熱装置用発熱体

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：土橋皓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993329406
Publication number (International publication number)：1995192844
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】高速昇温性、均熱性に優れたウエハー加熱装置および加熱装置用発熱体に関し、高速昇降性にすぐれ、また昇温および保持温度において高い均熱性を有することを目的とする。【構成】通電加熱型の発熱体を設置したヒーターユニットにおいて、上記発熱体を所定値以下の固有抵抗値を有し、1mm以下のスリット幅で発熱体パターンを刻設した平板状の炭化けい素材に、固有抵抗値が1×104 Ωcm以上で、厚さが1μm以上の絶縁膜を被覆させるように構成する。

Claim (excerpt)：

通電加熱型の発熱体を設置したヒーターユニットにおいて、上記発熱体を所定値以下の固有抵抗値を有し、1mm以下のスリット幅で発熱体パターンを刻設した平板状の炭化けい素材に、固有抵抗値が1×104 Ωcm以上で、厚さが1μm以上の絶縁膜を被覆させたことを特徴とするウエハー加熱装置。

IPC (5)：

H05B 3/00 330 , C23C 14/06 , H01L 21/22 501 , H01L 21/324 , H05B 3/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-175659
特開平4-160788
特開平2-172177

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