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J-GLOBAL ID：200903020248701885

マイクロデバイスとその製造方法

Inventor： 三木 政之 ,  鈴木 清光 ,  松本 昌大 ,  倉垣 智 ,  嶋田 智 ,  佐藤 一雄 ,  小出 晃 ,  鈴木 政善 ,  市川 範男 ,  堀江 潤一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993029303
Publication number (International publication number)：1994241932
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】実装構造を簡素化することができるマイクロデバイスを提供すること。【構成】上部ガラス板1a,中部ガラス板2,下部ガラス板1bを陽極接合し構成された積層構造体で、上記各ガラス,シリコン板からの電極を上部ガラス板1aの同一面に取り出すようにした。

Claim (excerpt)：

第一の電極部を有する第一のガラス部材と、第二の電極部を有する第二のガラス部材と、前記第一のガラス部材と前記第二のガラス部材との間に設けられ、前記第一の電極部と前記第二の電極部に対向して設けられた可動電極部を有するシリコン部材とを備えたマイクロデバイスにおいて、前記第一の電極部の引き出し部,前記第二の電極部の引き出し部及び前記可動電極部の引き出し部を前記第一のガラス部材の前記シリコン部材との反対側の面に設けたことを特徴とするマイクロデバイス。

IPC (4)：

G01L 9/12 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B60R 21/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-116465
  
• 特開平4-009727
  
• 特開昭56-098630
  
• 特開平2-134570