カーボンナノチューブの製法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997008461
Publication number (International publication number)：1998203810
Application date： Jan. 21, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】比較的低温で基体上に精製処理の必要のないカーボンナノチューブを成長させることができ、かつ条件を選択することで特性が均一で方向性がより改善されたカーボンナノチューブを成長させ得る方法を提供すること。【解決手段】基体の表面に予めカーボンナノチューブ成長開始領域を形成しておき、これを前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを反応容器内に導入し、更に反応容器中に直流グロー放電によるプラズマを発生させることで基体上にカーボンナノチューブを形成する。

Claim (excerpt)：

反応容器中に配置した基体上にカーボンチューブを成長させる方法であって、表面にカーボンナノチューブ成長開始領域を予め形成した基体を前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを該反応容器内に導入し、かつ該反応容器中に直流グロー放電によるプラズマを発生させることによって前記基体上にカーボンナノチューブを形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (3)：

C01B 31/02 101 , D01F 9/127 , G01N 37/00

FI (3)：

C01B 31/02 101 Z , D01F 9/127 , G01N 37/00 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

流動気相成長法による中空炭素繊維
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-061266 Applicant：日機装株式会社
円筒状黒鉛繊維と製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-108070 Applicant：日本電気株式会社
特開昭57-042523

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