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J-GLOBAL ID：200903020295501738

ターボ分子ポンプ

Inventor： 川口 重一 ,  西川 秀人
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996171358
Publication number (International publication number)：1996312581
Application date： Dec. 14, 1990
Publication date： Nov. 26, 1996
Summary：

【要約】【課題】 軸受の過加熱を防止する冷却手段からの冷熱の伝達により、ポンプ内の領域Aにプロセスガスによる反応生成物が付着・堆積するのを防止する。【解決手段】 領域A、即ちロータ7の下端7cを含む内周7a・外周7bからそれらの対向面にかけての領域を測温するセンサ23と、軸受4、5を冷却する冷却手段22と、ベースに添設される加熱手段21と、前記センサ23からの検出値に基づいてそれが排気ガス中の物質の固化温度以上であって且つ軸受4、5が保護される温度に維持されるように加熱手段21又は冷却手段22を制御する制御手段24とを設け、冷却手段22によって軸受4、5を冷却することにより軸受4、5を焼損等から保護すると共に、この冷却手段22からの冷熱の伝導によって領域Aが固相温度以下に冷却されて反応生成物が領域Aに付着することを防止する。

Claim (excerpt)：

ケーシングと、このケーシングを支持するベースと、前記ケーシング内にあって前記ベースに固設されたモータハウジングと、このモータハウジング内に装着した軸受を介して支承されたシャフトと、このシャフトに一体回転可能に固着され内周に前記モータハウジングを収容してなるロータと、このロータの外周と前記ケーシングの内周との間に構成されたポンプ機構とを具備してなるターボ分子ポンプにおいて、前記ロータの下端を含む内周/外周からそれらの対向面にかけての領域を加熱するためにベース又はケーシング外周面又はロータハウジング外周面の少なくとも1ケ所に付設される加熱手段と、軸受を冷却するための冷却手段とを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

FI (2)：

F04D 19/04 B ,  F04D 19/04 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-070994
  
• 特許第2564038号
  
• 特開昭55-091796
  
• 特許第2564038号