ポジ型レジスト組成物及びレジスト膜の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001203565
Publication number (International publication number)：2003015301
Application date： Jul. 04, 2001
Publication date： Jan. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】 160nm以下、特にF2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適な、ポジ型レジスト組成物及びレジスト膜の形成方法を提供することであり、具体的には157nmの光源使用時に十分な透過性を示し、且つ溶解コントラスト及び限界解像力が良好な、ポジ型レジスト組成物及びレジスト膜の形成方法を提供すること。【解決手段】 (A)特定の構造の繰り返し単位を少なくとも一つ有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物及び(C)溶剤を含有するポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を使用したレジスト膜の形成方法。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)で示される繰り返し単位を少なくとも一つ有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物及び(C)溶剤を含有し、製膜時に110°C以上、150°C以下の温度に加熱して使用されることを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】一般式(I)中、R1は、水素原子、フッ素原子、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。R2及びR3は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよい、アルコキシ基、アシル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基もしくはアリール基を表す。R4は、水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基、アルコキシカルボニル基又は下記一般式(II)の基を表す。【化2】一般式(II)中、R5及びR6は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基若しくはシクロアルキル基を表す。R7は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基もしくはアリール基を表す。また、R5〜R7の内の2つが結合し、環を形成しても良い。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/14 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/14 , H01L 21/30 502 R

F-Term (72)：

2H025AA00 , 2H025AA02 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC03 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AB07P , 4J100AC21R , 4J100AC22R , 4J100AC26R , 4J100AC27R , 4J100AD13R , 4J100AE35R , 4J100AE38R , 4J100AE39R , 4J100AH02R , 4J100AK32R , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AM02Q , 4J100AM03Q , 4J100AM07Q , 4J100AM43S , 4J100AM47S , 4J100AR04R , 4J100AR09R , 4J100AR11R , 4J100AR32R , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03P , 4J100BA03R , 4J100BA04P , 4J100BA04R , 4J100BA06P , 4J100BA06R , 4J100BA07Q , 4J100BA15P , 4J100BA20P , 4J100BA20R , 4J100BA22P , 4J100BA22R , 4J100BA40Q , 4J100BA53R , 4J100BB01Q , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BB07R , 4J100BB13P , 4J100BB13R , 4J100BB18P , 4J100BB18R , 4J100BB18S , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC04S , 4J100BC08R , 4J100BC09S , 4J100BC12R , 4J100BC53P , 4J100BC53R , 4J100CA01 , 4J100CA03 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

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