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J-GLOBAL ID：200903020318704003

熱電発電素子の製造方法

Inventor： 高城 富美男 ,  山上 利昭
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996250742
Publication number (International publication number)：1998098216
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 腕時計、電卓、電子体温計などの小型電子機器に用いられる、出力数μW〜数mWの小型熱電発電素子を効率的に製造する。【解決手段】 エアロゾル化室1で熱電材料の微粒子をエアロゾル化し、搬送管3によって成膜室に搬送し、ノズル6を通して高速で基板7に噴射することによって熱電材料の膜9を形成する。また、基板7またはノズル6を一定の速度で移動させることにより、p型の膜とn型の膜とが電気的に絶縁されたストライプ状のパターンを同一基板上に形成する。

Claim (excerpt)：

熱電材料の微粒子をガス流にのせてノズルを通して高速で基板に噴射することにより、膜を形成することを特徴とする熱電発電素子の製造方法。

IPC (4)：

H01L 35/34 ,  C23C 4/06 ,  C23C 24/08 ,  H01L 35/16

FI (4)：

H01L 35/34 ,  C23C 4/06 ,  C23C 24/08 A ,  H01L 35/16