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J-GLOBAL ID：200903020358215692

複合分子ポンプ

Inventor： 井口 昌司 ,  桜井 充 ,  丸山 隆司 ,  飯塚 元昭
Applicant, Patent owner： 株式会社大阪真空機器製作所
Agent (1)： 小山 輝晃
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993171027
Publication number (International publication number)：1995004384
Application date： Jun. 17, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 軸受等の精密機構部の昇温を抑制すると共に、簡易の構造によってねじ溝ポンプ部のロータ及びステータに反応生成物の凝縮付着を防止して、耐久性、信頼性を向上する。【構成】 ねじ溝ポンプ部3のステータ7a、7bを断熱材からなる支持体9a、9b、9cにより固定する。

Claim (excerpt)：

吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したことを特徴とする複合分子ポンプ。

IPC (2)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/02