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J-GLOBAL ID:200903020360868563

高精度で、耐久性及び耐湿性に優れたサブ波長構造光学素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高石 橘馬
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004370724
Publication number (International publication number):2006178147
Application date: Dec. 22, 2004
Publication date: Jul. 06, 2006
Summary:
【課題】 高精度で、耐久性及び撥水性に優れたサブ波長構造光学素子を提供する。【解決手段】 本発明のサブ波長構造光学素子は、使用する光の波長よりも短い周期で格子状に配列された複数の凸部を有する基板を有し、前記凸部の表面に硬質膜が形成されており、前記硬質膜の表面に撥水膜が形成されていることを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
使用する光の波長よりも短い周期で格子状に配列された複数の凸部を有する基板を具備し、前記凸部の表面に硬質膜が形成されており、前記硬質膜の表面に撥水膜が形成されていることを特徴とするサブ波長構造光学素子。
IPC (2):
G02B 1/10 ,  G02B 1/11
FI (2):
G02B1/10 Z ,  G02B1/10 A
F-Term (12):
2K009AA12 ,  2K009AA15 ,  2K009BB02 ,  2K009BB06 ,  2K009BB11 ,  2K009CC01 ,  2K009CC02 ,  2K009CC26 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD07 ,  2K009DD15
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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