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J-GLOBAL ID：200903020407096947
走査型近接場光学顕微鏡、及び走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996002171
Publication number (International publication number)：1997189707
Application date： Jan. 10, 1996
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 試料中の測定領域を選ぶため光学顕微鏡で要求される対物レンズを置くスペースも容易に確保し得てこれに応えられ、AFM専用の光学系に使用する光がNSOMの検出光と混ざる等するのも容易に回避できるようにする。【解決手段】 プローブ3を試料15と一定の距離を保つよう走査させる。両者の制御は、プローブ3からのNSOMの検出光を用いる。プローブ3による光近接場相互作用の光を用いているので他の光源を必要とせず、別途光学系を設置することに起因する対物レンズへの空間的な制約もなく、高倍の対物レンズ4も容易に使用でき、試料15の位置合わせも容易である。プローブ3の変位の検出には、プローブ3から射出される光の射出位置と検出光学系との相対的距離の変化、または光の射出方向の変化のいずれも適用できる。
Claim (excerpt)：
被観察物体に光を照射する手段と、該被観察物体の光近接場の強度を検出する手段とを備え、光近接場相互作用を起こすためのプローブを前記被観察物体と一定の距離を保ちながら相対的に走査させ、前記被観察物体の光学的特性を測定する走査型近接場光学顕微鏡であって、前記プローブによって発生する光近接場相互作用による光信号を用いることによって、前記プローブと前記被観察物体の相対的距離を制御することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 D
, G01N 37/00 F
, G01B 11/30 Z
