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J-GLOBAL ID：200903020441384005

結晶体膜の作製方法及び作製装置

Inventor： 中谷 喜紀 ,  伊藤 政隆 ,  土本 修平
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992347455
Publication number (International publication number)：1994204132
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 結晶成長中の処理温度を制御することにより、結晶核生成密度及び結晶成長速度等を制御し、短時間で粒径の大きい結晶体膜を得る。【構成】 結晶成長に追随して変化する光学定数を測定することにより結晶化の度合を検知し、結晶化の度合に応じて結晶化に必要な供給エネルギーを変化させることにより処理温度を制御する。また、光学定数の測定方法として、分光計測が可能な偏光解析装置をもちいる。

Claim (excerpt)：

基板上に形成した非単結晶体膜を結晶化する方法であって、該基板上の非単結晶体膜の光学定数を測定することにより、該基板上の非単結晶体膜の結晶化の度合を求め、該基板上の非単結晶体膜の結晶化の度合に応じて結晶化に必要なエネルギーを変化させることを特徴とする結晶体膜の作製方法。

IPC (2)：

H01L 21/20 ,  H01L 21/324