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J-GLOBAL ID：200903020450477482

整形金属パターンの製造方法

Inventor： 照屋 嘉弘 ,  山中 康弘
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992139311
Publication number (International publication number)：1993335726
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 印刷回路等の不要金属パターンのレーザビーム加工に関し、ドリルでは加工困難な高精度の金属パターンの加工を可能とする整形金属パターンの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 支持体に不要部を有する金属パターン(1)が固定されている対象物(18)を準備する工程と、前記不要部の形状、位置をデータ化する工程(S1)と、エキシマレーザビームを前記データに基づいて整形し、所定の第1のエネルギ密度で前記不要部に照射して、不要部の金属パターンを除去する除去工程(S8)と、前記エキシマレーザビームのエネルギ密度を前記第1のエネルギ密度より低い値に設定し、前記不要部を含む拡大領域に照射してクリーニングを行なうクリーニング工程(S15)とを含む。

Claim (excerpt)：

支持体に不要部を有する金属パターンが固定されている対象物を準備する工程と、前記不要部の形状、位置をデータ化する工程と、エキシマレーザビームを前記データに基づいて整形し、所定の第1のエネルギ密度で前記不要部に照射して、不要部の金属パターンを除去する除去工程と、前記エキシマレーザビームのエネルギ密度を前記第1のエネルギ密度より低い値に設定し、前記不要部を含む拡大領域に照射してクリーニングを行なうクリーニング工程とを含む整形金属パターンの製造方法

IPC (5)：

H05K 3/22 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/16 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/08