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J-GLOBAL ID：200903020457300260

混合ガス成分判別および定量方法ならびに装置

Inventor： 中村 雅之 ,  杉本 岩雄 ,  桑野 博喜
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993099696
Publication number (International publication number)：1994308008
Application date： Apr. 26, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 安価に正確に成分ガスの判別と濃度定量を行う。【構成】 測定セル1に配置された単一の水晶発振子3にはガス吸着膜2が表面に形成され、ガス供給器8から試料が供給されると発振回路4が発振する水晶発振子3の共振周波数を周波数カウンタ5がカウントする。コンピュータ6は周波数カウンタ5の計測による共振周波数の時間変化に含まれる指数関数の時定数と、各成分ガスの単独ガスの場合の時定数とを比較して各成分ガスの種類の同定を行い、かつ、ガス吸着膜2への飽和吸着量を求めて成分ガスの濃度を定量して結果を表示装置7に表示する。

Claim (excerpt)：

表面にガス吸着膜を設けた水晶発振子を用い、被検知ガスの前記ガス吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の変化を求めることにより混合ガス中の各成分ガスの種類を同定し、かつ濃度を定量する混合ガス成分判別および定量方法において、ガス吸着膜を表面に設けた一つの水晶発振子を用い、前記水晶発振子の共振周波数の時間変化に含まれる指数関数の時定数を検出する手順と、前記手順により検出された水晶発振子の共振周波数の時間変化に含まれる指数関数の時定数と、各成分ガスの単独ガスの場合の共振周波数の時間変化を表わす指数関数の時定数とを比較して一致するか否かにより、各成分ガスの種類の同定を行う手順と、各成分ガスの前記ガス吸着膜への飽和吸着量を求めて各成分ガスの濃度の定量を行う手順とを含むことを特徴とする混合ガス成分判別および定量方法。