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J-GLOBAL ID：200903020458444621

金属超微粒子の製造装置および金属超微粒子の製造方法

Inventor： 田中 努 ,  中村 孝則 ,  唐沢 泰彦
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001044244
Publication number (International publication number)：2002241806
Application date： Feb. 20, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 アーク放電を利用して金属超微粒子を生成する際に、アーク柱の形状を安定して維持することで、高品質の金属超微粒子を安定して生成することができる金属超微粒子の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 アーク柱の形状を維持するために、放電用電極13およびターゲット5の間(電極間隔D)をほぼ一定に維持する。特に、アーク放電を発生させた場合の放電電圧を検知して、該放電電圧をほぼ一定の値に維持するように上記放電用電極13の位置を変化させることによって、電極間隔Dの維持をより容易かつ正確に実施することができる。

Claim (excerpt)：

放電用電極と、該放電用電極に近接した位置に設けられ、金属母材を保持する保持電極と、これらに接続されるアーク電源とを備えており、アーク電源より上記放電用電極および保持電極の間に電圧を印加することによってアーク放電を発生させる金属超微粒子の製造装置において、さらに、アーク放電の発生に伴う放電電圧を検知する電圧検知手段と、上記放電用電極または保持電極の何れか一方の位置を変化させて、放電用電極および金属母材の間の間隔を変化させる位置変化手段と、少なくとも該位置変化手段の動作を制御することにより上記放電電圧をほぼ一定の値に維持する制御手段とを備えていることを特徴とする金属超微粒子の製造装置。

F-Term (3)：

4K017AA02 ,  4K017CA08 ,  4K017EA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-190302
  
• 特開昭60-194003
  
• 特開昭61-223109
  
• 特開昭62-103308