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J-GLOBAL ID：200903020473929682

膜形成方法、及び膜形成方法に用いられる液

Inventor： 町田 英明
Applicant, Patent owner： 株式会社トリケミカル研究所
Agent (1)： 宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997334241
Publication number (International publication number)：1999001778
Application date： Dec. 04, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 成膜を簡単、かつ、効率良く行うことが出来る技術を提供することである。【解決手段】 基体上に膜を設ける膜形成方法であって、前記基体表面に金属錯体の液体もしくは溶液の層を設ける工程と、前記基体及び/又は液の層を加熱する工程とを具備し、金属錯体の分解により基体上に膜が設けられる膜形成方法。

Claim (excerpt)：

基体上に膜を設ける膜形成方法であって、前記基体表面に金属錯体の液体もしくは溶液の層を設ける工程と、前記基体及び/又は液の層を加熱する工程とを具備してなり、金属錯体の分解により基体上に膜が設けられることを特徴とする膜形成方法。

IPC (2)：

C23C 18/08 ,  C23C 18/14

FI (2)：

C23C 18/08 ,  C23C 18/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-313329
  
• 特開昭49-195504
  
• 特開昭60-096764