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J-GLOBAL ID:200903020493955256
AlGaInP系半導体レーザ素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山本 秀策
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991227377
Publication number (International publication number):1993067836
Application date: Sep. 06, 1991
Publication date: Mar. 19, 1993
Summary:
【要約】【目的】 AlGaInP系の可視光半導体レーザ素子において,屈折率導波構造および電流狭窄構造を1回の結晶成長工程で形成すると共に,素子特性を安定させ,信頼性を向上させる。【構成】 凹部となるストライプ状溝110を有するp型の基板100上に,AlGaInP混晶系からなる,p型の第1クラッド層101,活性層102,n型の第2クラッド層103,およびn型のコンタクト層105を含む積層構造が形成されている。第2クラッド層103とコンタクト層105との間には,クラッド層103より禁制帯幅の小さいp型の中間層104が形成されている。中間層104の層厚は,溝側面部の上方ではキャリアのド・ブロイ波長より薄く,溝底部の上方ではキャリアのド・ブロイ波長より厚い。
Claim (excerpt):
ストライプ状の凹部または凸部を有する第1導電型のGaAs基板上に,AlGaInP混晶系からなる第1導電型の第1クラッド層,活性層,第2導電型の第2クラッド層,および第2導電型のGaAsコンタクト層を含む積層構造が形成されたAlGaInP系半導体レーザ素子であって,第1導電型がp型の場合にはp-GaAs基板とp-AlGaInP第1クラッド層との間に第1クラッド層より禁制帯幅の小さいp-AlGaInP中間層が設けられ,第1導電型がn型の場合にはp-AlGaInP第2クラッド層とp-GaAsコンタクト層との間に第2クラッド層より禁制帯幅の小さいp-AlGaInP中間層が設けられ,その層厚が,凹部または凸部の段差斜面部の上方ではキャリアのド・ブロイ波長より薄く,それ以外の部分ではキャリアのド・ブロイ波長より厚い,AlGaInP系半導体レーザ素子。
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