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J-GLOBAL ID：200903020515669600

感光性組成物

Inventor： 安達 裕 ,  中井 英之 ,  田中 武志
Applicant, Patent owner： コニカ株式会社
Agent (1)： 中島 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992129726
Publication number (International publication number)：1993181266
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 塗布性、感光液の保存性が向上し、更に露光可視画性、溶剤溶解性に優れている。【構成】 感光性組成物に下記の共重合体からなるフッ素系界面活性剤を含む。1)炭素原子数が6〜20かつフッ素含有量が30重量%以上のフルオロ脂肪族基を含むアクリレート又はメタクリレート2)(ポリオキシアルキレン)アクリレート又は(ポリオキシアルキレン)メタクリレート該共重合体の分子量が1000〜6000、かつ1)の含有量が前記共重合体の重量の10〜25重量%以上である。フルオロ脂肪族基は完全にフッ素化されたものが好ましい。

Claim (excerpt)：

フッ素系界面活性剤を含有する感光性組成物において、該フッ素系界面活性剤が下記の1)及び2)の共重合体であり、該共重合体の重量平均分子量が1000〜6000であり、かつ1)の含有量が前記共重合体の重量の10〜25重量%以上であることを特徴とする感光性組成物。1)炭素原子数が6〜20かつフッ素含有量が30重量%以上のフルオロ脂肪族基を含むアクリレート又はメタアクリレート2)(ポリオキシアルキレン)アクリレート又は(ポリオキシアルキレン)メタアクリレート

IPC (4)：

G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 521 ,  G03F 7/027 501