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J-GLOBAL ID：200903020530590883

磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記憶装置

Inventor： 藤巻 成彦 ,  柏瀬 英一 ,  細江 譲 ,  松本 洋 ,  渡辺 正博 ,  小角 雄一 ,  片岡 宏之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996328779
Publication number (International publication number)：1998172130
Application date： Dec. 09, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 磁性層上にテクスチャに相当する高さ5〜20nm程度の均一な突起を設けた保護層を備えた磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1に形成した磁性層3の表面に、炭素に少なくとも珪素を5〜30at%含む材料からなる第1の皮膜4と炭素又は炭素に水素もしくは窒素を添加した材料から成る第2の皮膜7を順次形成し、第2の皮膜の表面に0.03μm2 〜300μm2 の面積を遮蔽する障害物8を被着させたのち、障害物を介して酸素プラズマもしくは酸素プラズマ及びアルゴンプラズマを作用させてから前記障害物を取り除くことで、高さが均一な突起5を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に磁性層と前記磁性層上に形成された保護層とを有する磁気記録媒体において、前記保護層は前記磁性層の表面を連続して覆う皮膜と前記皮膜上に分散して形成された突起とで構成され、前記皮膜は炭素に少なくとも珪素を5〜30at%含む材料から成り、前記突起は炭素又は炭素に水素もしくは窒素を添加した材料から成ることをを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (6)：

G11B 5/66 ,  G11B 5/012 ,  G11B 5/72 ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84 ,  G11B 21/21 101

FI (6)：

G11B 5/66 ,  G11B 5/012 ,  G11B 5/72 ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84 B ,  G11B 21/21 101 P