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J-GLOBAL ID：200903020550744372
ウエーハプローバ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991161240
Publication number (International publication number)：1993013518
Application date： Jul. 02, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：
【要約】【構成】半導体ウエーハ8を載置固定するステージ2と同一直交座標系上を移動しかつ上下移動が可能なステージ3を備える。ステージ3に設置されたカメラ4を備える。プローブ針11の像と電極パッド81の像とをそれぞれ撮像装置の光軸方向に反射する2つの鏡面51,52を有する反射鏡部5を備える。カメラ4の出力映像信号を処理しプローブ針11および電極パッド81の出力映像上のそれぞれの位置座標を算出し、両者の差をステージ1の直交座標系上の移動量に変換する画像処理装置を備える。【効果】プローブ針と電極パッドとの位置調整を画像信号処理により行なうため、作業者の技量に無関係に高精度な位置調整を効率的に行なうことができる。非接触の位置調整方法であるため、プローブ針の磨耗や曲変形あるいは電極パッドの破損等を防止できる。
Claim (excerpt)：
半導体ウエーハ上に形成された半導体チップの電極パッドに接触するプローブ針を有するプローブカードを備え前記プローブ針を介して前記半導体チップの電気的特性を試験するウェーハプローバにおいて、前記半導体ウエーハを載置固定する第一のステージと、前記第一のステージと同一直交座標系上を移動しかつ上下移動が可能な第二のステージと、前記第二のステージに設置された撮像装置と、前記第二のステージに設置され前記プローブカードの前記プローブ針の像である第一の像を前記撮像装置の光軸方向に反射する第一の鏡面と前記第一のステージ上の前記半導体チップの像である第二の像を前記撮像装置の光軸方向に反射する第二の鏡面とを有する反射鏡装置と、前記撮像装置の出力映像信号を処理し前記第一および第二の像の出力映像上のそれぞれの位置座標である第一および第二の位置座標を算出し前記第一および第二の位置座標の差を前記第一のステージの前記直交座標系上の移動量に変換する画像処理装置とを備えることを特徴とするウェーハプローバ。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G12B 5/00
, H01L 21/68
