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J-GLOBAL ID:200903020561566069

薄膜分光フィルター

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994090167
Publication number (International publication number):1995294729
Application date: Apr. 27, 1994
Publication date: Nov. 10, 1995
Summary:
【要約】【構成】本発明は、島状化した不連続なAg、Au、Cu等の金属薄膜とSiO2 、MgO2 等の誘電体薄膜とを交互に積層した多層膜により構成された薄膜分光フィルターである。【効果】比較的容易な作製法を用いて薄膜分光フィルターの高耐久性化が図られ、また使用する誘電体および金属薄膜の種類により様々な特性のものを設計することができる。その結果、安価でかつ耐環境性に優れた高性能な薄膜分光フィルターを提供することができる。
Claim (excerpt):
島状化した不連続な金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層した多層膜により構成されたことを特徴とする薄膜分光フィルター。
IPC (3):
G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 15/08

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