薄膜ガスセンサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：奥山尚一 , 有原幸一 , 松島鉄男 , 河村英文 , 岡本正之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005197246
Publication number (International publication number)：2007017217
Application date： Jul. 06, 2005
Publication date： Jan. 25, 2007
Summary：

【課題】本発明は、複数のガスに対するガス感知層を1チップ化することを目的とする。【解決手段】薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板1と、基板の上に設けられた支持層2と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター5と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層6と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第1および第2のガス感知層10,20であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第1および第2のガス感知層と、第1のガス感知層と電気的に接触して設けられた第1の電極対15,16と、第2のガス感知層と電気的に接触して設けられた第2の電極対25,26とを備えるセンサが提供される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板と、前記基板の上に設けられた支持層と、前記支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーターと、前記ヒーターの上に設けられた電気絶縁層と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第1および第2のガス感知層であって、前記電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、前記ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた、第1および第2のガス感知層と、前記第1のガス感知層と電気的に接触して設けられた第1の電極対と、前記第2のガス感知層と電気的に接触して設けられた第2の電極対とを備えるセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (1)：

G01N27/12 B

F-Term (26)：

2G046AA11 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA04 , 2G046BA07 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BB08 , 2G046BD03 , 2G046BD05 , 2G046BE03 , 2G046BE07 , 2G046DB01 , 2G046DB07 , 2G046EA02 , 2G046EA09 , 2G046EA11 , 2G046EA16 , 2G046FB02 , 2G046FB06 , 2G046FE24 , 2G046FE36 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE41

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-105840 Applicant：大阪瓦斯株式会社
薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096271 Applicant：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096951 Applicant：富士電機株式会社

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Cited by examiner (11)

薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-057190 Applicant：富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社
ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-046557 Applicant：フィガロ技研株式会社
特開平4-164243

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