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J-GLOBAL ID：200903020571095820
半導体露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991270430
Publication number (International publication number)：1993082411
Application date： Sep. 24, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 人手を介することなく迅速にウエハチャックをクリーニング可能とし、装置環境を乱すことなく装置を安定に稼働させ生産性の向上を図った半導体露光装置を提供する。【構成】 XYステージ1上のウエハチャック2にウエハを吸着保持して、レチクルパターンを該ウエハ上に露光転写する半導体露光装置において、前記ウエハチャック2のウエハ搭載面をクリーニングするためのクリーニング手段3,10を具備する。
Claim (excerpt)：
XYステージ上のウエハチャックにウエハを吸着保持して、レチクルパターンを該ウエハ上に露光転写する半導体露光装置において、前記ウエハチャックのウエハ搭載面をクリーニングするためのクリーニング手段を具備したことを特徴とする半導体露光装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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