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J-GLOBAL ID：200903020578802513

シリコーン樹脂の除去法

Inventor： 南 伸太朗 ,  西村 浩之 ,  足立 悦志 ,  田島 享 ,  石川 英一 ,  足達 廣士 ,  山本 茂之
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995054566
Publication number (International publication number)：1996250400
Application date： Mar. 14, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特定のシリコーン樹脂の硬化塗膜を除去すること。【構成】 特定の化合物を重合させてなるシリコーン樹脂の硬化塗膜を、硫酸と過酸化水素水との混合溶剤、フッ酸、およびアンモニア水よりなる群から選ばれた少なくとも1種の溶剤を含む処理液による少なくとも2回の処理工程からなる湿式法で除去するシリコーン樹脂の除去法。

Claim (excerpt)：

式(I):【化1】(式中、R1は同じかまたは異なり、いずれもフェニル基、低級アルキル基または感光性基であり、R2は同じかまたは異なり、いずれも水素原子、低級アルキル基または感光性基であり、nは2〜5000の整数である)で示される化合物を重合してなるシリコーン樹脂の硬化塗膜を湿式法で除去するシリコーン樹脂の除去法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/32

FI (3)：

H01L 21/30 574 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/30 572 B