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J-GLOBAL ID：200903020587877372

電子線分析装置

Inventor： 飯田 信雄 ,  無漏田 正雄
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 阿部 龍吉 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991292810
Publication number (International publication number)：1993135726
Application date： Nov. 08, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：

【要約】【目的】 2次電子検出器のつくる電場を抑制し、電場をワークディスタンスと自動的に連動させ、チャージアップの少ない状態で試料を観察する。【構成】 電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器を備えた電子線分析装置において、2次電子検出器の検出面の前方に先拡がりの開口を有し上下に2分割したラッパ型の捕集電極21 、22 を設け、該上下の捕集電極21 、22 に印加する電圧を対物レンズ1と試料との間のワークディスタンスWDの変化に連動して変える。この捕集電極21 、22 の印加電圧の制御により、試料にチャージアップが生じないように2次電子検出器のつくる電場を制御することができ、ワークディスタンスの変化に伴って観察画像の画質が劣化するのを防ぐことができる。また、捕集電極の印加電圧を変えて2次電子の捕集電場の形状を変えることができるので、観察目的に応じて2次電子検出器の位置を移動させると同様の制御を行うことができる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器を備えた電子線分析装置において、2次電子検出器の検出面の前方に先拡がりの開口を有し上下に2分割したラッパ型の捕集電極を設け、該上下の捕集電極に印加する電圧を対物レンズと試料との間のワークディスタンスの変化に連動して変えるようにしたことを特徴とする電子線分析装置。

IPC (3)：

H01J 37/244 ,  G01T 1/28 ,  G01T 7/00