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J-GLOBAL ID：200903020600513920

光学的検出装置

Inventor： 星 宏明 ,  山本 昌邦 ,  山口 英司 ,  松村 進
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992267929
Publication number (International publication number)：1994094435
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 エッジ検出において、検出信号の変調度を向上し、検出の信頼性を改善した光学的検出装置を提供する。【構成】 レーザ光を位相物体に照射し、該位相物体からの反射光/透過光を光検出器に導き、該位相物体の属性を検出する光学的検出装置において、該位相物体からの回折波面を、参照波面と合波干渉させ、得られた干渉強度分布を該光検出器により検出するように構成にすると共に、該位相物体の偏光特性に起因する位相変調、該位相物体からの回折波面による空間的位相変調の重ね合わせによる総合位相と、前記参照波面の位相との相対位相差を、空間的な部分領域で、略πの整数倍にするための位相補償板を有することを特徴とする光学的検出装置。

Claim (excerpt)：

レーザ光を位相物体に照射し、該位相物体からの反射光/透過光を光検出器に導き、該位相物体の属性を検出する光学的検出装置において、該位相物体からの回折波面を、参照波面と合波干渉させ、得られた干渉強度分布を該光検出器により検出するように構成にすると共に、該位相物体の偏光特性に起因する位相変調、該位相物体からの回折波面による空間的位相変調の重ね合わせによる総合位相と、前記参照波面の位相との相対位相差を、空間的な部分領域で、略πの整数倍にするための位相補償板を有することを特徴とする光学的検出装置。

IPC (5)：

G01B 11/24 ,  G01J 4/04 ,  G11B 7/00 ,  G11B 7/135 ,  G11B 11/10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 光学的情報記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-266898   Applicant：キヤノン株式会社
• 光学的情報再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-279272   Applicant：キヤノン株式会社