Pat
J-GLOBAL ID：200903020633271611
セラミックグリーンシートの積層方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002089851
Publication number (International publication number)：2003285311
Application date： Mar. 27, 2002
Publication date： Oct. 07, 2003
Summary：
【要約】【課題】 簡単且つ安価な工程で、セラミックグリーンシートの吸引孔への入り込みによる信頼性の低下を大幅に低減したセラミックグリーンシートの積層方法を提供するものである。【解決手段】 吸着ヘッド10は、吸着面10aが形成された本体部17と、本体部17内に配置された吸引孔12を閉塞する閉塞部材13と、真空ポンプに接続される吸引手段を有し、セラミックグリーンシート31を吸引する際には、閉塞部材13が吸引孔11を開口させ、セラミックグリーンシート31を吸着するとともに、セラミックグリーンシート31を加圧する際には、閉塞部材13が吸引孔11を閉塞することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
吸着ヘッドにより吸着したセラミックグリーンシートを支持台上面に搭載し、且つ前記吸着ヘッドの吸着面と支持台上面とで加圧してなるセラミックグリーンシートの積層方法において、前記吸着ヘッドは、吸着面が形成された本体部と、該本体部内に配置された前記吸引孔を閉塞する閉塞部材と、真空ポンプに接続される吸引手段を有し、前記セラミックグリーンシートを吸引する際には、前記閉塞部材が前記吸引孔を開口させ、前記セラミックグリーンシートを吸着するとともに、前記セラミックグリーンシートを加圧する際には、前記閉塞部材が前記吸引孔を閉塞することを特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H05K 3/46 H
, B28B 11/00 Z
4G055AA08
, 4G055AC09
, 4G055BA22
, 5E346AA12
, 5E346AA38
, 5E346BB01
, 5E346CC17
, 5E346DD02
, 5E346EE24
, 5E346GG08
, 5E346HH33
