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J-GLOBAL ID：200903020683991534

固体撮像装置

Inventor： 小山 英嗣
Applicant, Patent owner： シヤープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991300668
Publication number (International publication number)：1993134111
Application date： Nov. 15, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【構成】 従来技術により、遮光膜9を形成した後、マイクロレンズ材料より大きい屈折率の透明樹脂であるポリイミド樹脂をスピンコート法により塗布した後、200〜250°Cで5〜10分間ベークし、平坦化膜10aを形成する。その後、アクリル樹脂をスピンコート法により塗布した後、パターニングを行い、150〜160°Cでメルトし、マイクロレンズ11を形成する。【効果】 マイクロレンズに対する斜め入射光の受光部への集光率の低下が従来より抑えられる。

Claim (excerpt)：

平坦化膜上にマイクロレンズを設けた固体撮像装置において、前記平坦化膜に、前記マイクロレンズより大きい屈折率を有する透明樹脂を用いたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 固体撮像装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-280321   Applicant：オリンパス光学工業株式会社