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J-GLOBAL ID：200903020714761877
バンプ電極検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992238273
Publication number (International publication number)：1994088709
Application date： Sep. 07, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：
【要約】【目的】 パッド間の接続を行うバンプ電極の高さを検査するバンプ電極検査装置に関し、短時間かつ正確に自動検査を行うことを目的とする。【構成】 試料24におけるバンプ電極に直線偏光されたレーザ光を照射し、反射光を、入射光と同一の偏光状態の反射光を通過させる偏光フィルタ28を介してPSDセンサ29に受光させる。
Claim (excerpt)：
基板(24a)上に形成されたバンプ電極(24b)に、直線偏光された光を照射する光源(26)と、該バンプ電極(24b)からの反射光を検出する検出部(29)と、該反射光の該検出部(29)までの経路中に介在され、入射光と同一の偏光状態の光を通過させる偏光手段(28)と、該検出部(29)からの信号により該バンプ電極(24b)の高さを算出する処理手段(30〜34)と、を含むことを特徴とするバンプ電極検査装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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