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J-GLOBAL ID：200903020738048667

無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法

Inventor： 高木 良博
Applicant, Patent owner： 富士フイルムオーリン株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998243599
Publication number (International publication number)：2000075502
Application date： Aug. 28, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像する際に生じる使用済みの現像液にかかわる廃液処分コストを低減し、水質環境の安全が確保され、かつ水質環境法規の制約も解決された現像処理方法を提供する。【解決手段】 無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像して生じた使用済みの現像液から固形分を分離したのち、該使用済みの現像液を新たな無機微粒子含有感光性樹脂組成物の高圧スプレー現像に再使用することを特徴とする無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法。

Claim (excerpt)：

無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像して生じた使用済みの現像液から固形分を分離したのち、該使用済みの現像液を新たな無機微粒子含有感光性樹脂組成物の高圧スプレー現像に再使用することを特徴とする無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法。

IPC (2)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 501

FI (2)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 501

F-Term (23)：

2H025AA16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC03 ,  2H025AD05 ,  2H025BC31 ,  2H025BJ01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CA34 ,  2H025CB04 ,  2H025CB07 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025EA04 ,  2H025FA09 ,  2H025FA10 ,  2H025FA15 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096BA09 ,  2H096CA12