Pat

J-GLOBAL ID：200903020761263419

弾性表面波共振子の製造方法

Inventor： 浅野 宏二 ,  神田 正 ,  清水 洋
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社 ,  清水 洋
Agent (1)： 大塚 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080314
Publication number (International publication number)：1994164286
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 圧電基板上に重金属によってすだれ状変換器が形成されたラブ波型弾性表面波共振子の共振周波数の変更に伴う生産コストと製作期間を短縮する。【構成】 すだれ状変換器2の電極指3のピッチPを変えないで電極指3の幅Wを、マスクパターンを変えることなくレジスト露光の際の光量を変えることによってW/Pが0.3〜0.7の範囲の所望の値のすだれ状変換器2を形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

圧電基板上に比重の大きい重金属によるすだれ状電極変換器を形成させて電気機械結合係数の大きいラブ波型弾性表面波共振子を製造する際に、前記すだれ状電極変換器の電極指の幅Wの電極ピッチPに対する比W/Pが一定値の電極形成用のマスクを用いレジスト露光の光量を加減することにより、前記比W/Pが0.3〜0.7の範囲の所望の値のすだれ状電極変換器を形成して所望の共振周波数を得るようにした弾性表面波共振子の製造方法。

IPC (2)：

H03H 3/08 ,  H03H 3/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-189451
  
• 特開平4-062032
  
• 特開平3-237501