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J-GLOBAL ID:200903020800739434

連続操作閉ループ除染システムおよび方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山本 秀策
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1998501880
Publication number (International publication number):2000513247
Application date: Jun. 13, 1997
Publication date: Oct. 10, 2000
Summary:
【要約】蒸発器(18)は、液体過酸化水素またはその他の液体滅菌剤を蒸発させて除染剤蒸気を生成する。ヒータ(60、61、62)は、除染剤蒸気および、空気など搬送ガスの温度を制御する。滅菌剤蒸気は、蒸発器から、密閉可能なチャンバ(10)の引込み口ポート(12)を通り、チャンバ内を通って、引出し口ポート(14)を通り、引出し口ポートから流体回路(16)を通って、引込み口ポートに戻る。コンバータ(20)は、過酸化水素を水に分解する。送風機(22a、22b)は、搬送ガスを流体回路内で循環させる。モニター(44、46、48、54)は、チャンバ内の温度、相対湿度、蒸気濃度、および圧力をモニターする。プロセッサー(42)は、空気を追加または除去して圧力を調節する圧力微調整装置(70)を制御し、モニターされた温度、相対湿度および蒸気濃度に従って、調節可能な乾燥器(24)を制御する。
Claim (excerpt):
引込み口ポート(12)と引出し口ポート(14)とを有する密閉可能なチャンバ(10)と、該チャンバの引出し口ポートと流体接続して搬送ガスを該チャンバ(10)の中に引き入れ、中を通って、外へ再循環させる通路を提供する第1の端部を有する閉ループ流体回路(16)と、該閉ループ流体回路を通ってガスを循環させる手段(22a、22b)と、除染剤蒸気を再循環搬送ガス中に送達する該引込み口ポート(12)に隣接して該流体回路に流体接続された蒸発器(18)とを有し、 該チャンバ(10)内の、温度、相対湿度、および除染剤蒸気濃度の少なくとも1つをモニターするモニター(44、46、48)と、 搬送ガス受け入れ口と該密閉可能なチャンバの該引込み口ポートとの間に蛇行状内部通路を有する該蒸発器と、 (a)該蒸発器入り口の上流、(b)該蛇行状通路沿いおよび外部、ならびに(c)該蒸発器と該チャンバの間、の少なくとも1つに配置された加熱手段(60、61、62)と、 該モニター(44、46、48)から出力信号を受信し、該出力信号に従って該加熱手段(60、61、62)を制御して、該除染剤蒸気および該搬送ガスの少なくとも温度を制御するプロセッサー(42)と、 を特徴とする、閉ループフロースルー気相除染システム。
IPC (2):
A61L 2/20 ,  A61L 2/24
FI (3):
A61L 2/20 A ,  A61L 2/20 G ,  A61L 2/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (25)
  • 特開昭53-047548
  • 特開昭53-047548
  • 特開昭51-068995
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