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J-GLOBAL ID：200903020809929864
容量型センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
藤谷 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991188115
Publication number (International publication number)：1993010968
Application date： Jul. 01, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 正常・故障を診断することができる容量型センサを提供すること。【構成】 容量型センサである容量型加速度センサ10のシリコン基板20には周囲から細いビーム23a,23cなどにてバネ性を有して支持されたおもり22上に診断用電極を兼ねた移動電極21が形成されている。又、ガラス基板には固定電極31及びその周囲に診断用電極32がそれぞれ移動電極21に対向して形成されている。プライマリチェック時には、移動電極21と診断用電極32との間に所定の電圧を印加して静電力を発生させ移動電極21を引きつける。これにより、移動電極21と固定電極31との間の微小ギャップを変化させ、この時の容量に関連した物理量である変量をアナログ出力として検出する。この出力値を規格値と比較判定することにより、容量型加速度センサ10は正常・故障の診断が可能となる。
Claim (excerpt)：
第1の基板に形成された移動電極に対して微小ギャップを有するように対向させて第2の基板に固定電極を形成し、前記両電極間の容量の変化により物理量を測定する容量型センサにおいて、前記移動電極と前記固定電極との微小ギャップを共有し対向させて前記第1の基板と前記第2の基板とに第1の診断用電極と第2の診断用電極とをそれぞれ形成し、プライマリチェック時には、前記第1の診断用電極と前記第2の診断用電極との間に所定の電圧を印加して静電力を発生させ、前記移動電極と前記固定電極との間の微小ギャップを強制的に変化させ、その時の前記移動電極と前記固定電極との間の容量の変化に基づき正常・故障を診断するようにしたことを特徴とする容量型センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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