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J-GLOBAL ID：200903020832084391

荷電粒子線装置

Inventor： 黒▲崎▼ 利栄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995169759
Publication number (International publication number)：1997022676
Application date： Jul. 05, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：

【要約】【目的】本発明の一つの目的は光学顕微鏡と粒子線光学系との光軸間距離を正確に校正することを可能にするのに適した荷電粒子線装置を提供することにある。【構成】走査電子顕微鏡を例として説明する。X、Yステ-ジ2上に光学顕微鏡5と電子光学系との相互の光軸間距離Lに相当する距離だけ隔てて配置された基準パタ-ン10、11を設け、これらのパタ-ンの画像信号を画像処理回路12に取り込んで、基準パタ-ン10、11に対する光学顕微鏡5の光軸、電子光学系の光軸の位置ずれをそれぞれ演算して求め、このずれを走査電子顕微鏡の実際の測定の際にオフセットとすることで、正確な位置決めがなされる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線を発生させる荷電粒子線と前記荷電粒子線をステ-ジに搭載された試料に向ける手段とを含む荷電粒子線光学系を有すると共に前記試料を観察する光学顕微鏡を有する荷電粒子線装置において、前記ステ-ジに第1及び第2の基準パタ-ンを設け、該第1及び第2の基準パタ-ンを前記光学顕微鏡及び前記荷電粒子線光学系を用いてそれぞれ独立に観察し、位置測定するように構成したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 L ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 541 K